国产 巨乳 俄罗斯自研光刻机挑战ASML，声称更低廉更易造

俄罗斯在高端半导体制造领域迈出了进攻一步国产 巨乳，近日晓谕了其自主EUV光刻机研发规画的具体道路图。这项嘻是图的名堂由俄罗斯科学院微结构物理照拂所的领军东说念主物Nikolay Chkhalo认真，旨在打造一款资本更低、坐蓐更为方便的EUV光刻机，以挑战行业巨头ASML的市时事位。

与ASML夙昔使用的13.5nm波长EUV光刻机不同，俄罗斯规画选定11.2nm波长的激光光源。这一创新之举瞻望能带来20%的差别率升迁，同期简化机器野心，并权臣缩短光学元件的资本。然则，由于这一波长与现存EUV设立不兼容，俄罗斯必须从新运转构建一个全新的光刻生态系统，这无疑是一个漫长且复杂的挑战，瞻望至少需要十年时期。

Chkhalo强调，11.2nm波长的采用不仅带来了工夫上的上风，还权臣减少了光学元件的玷污问题，从而延迟了舛错部件的使用寿命。俄罗斯的光刻机将选定硅基光阻剂，这种材料在更短的波长下大概展现出更佳的性能，为芯片制造带来质的飞跃。

尽管俄罗斯EUV光刻机的光源功率仅为3.6千瓦，仅为ASML设立的37%，但其性能足以吹法螺小畛域芯片坐蓐的需求。这一特色使得俄罗斯的光刻机在特定阛阓领域具有潜在的竞争力，尤其是在对资本有严格约束条目的客户群体中。

为了已毕这一指标，俄罗斯需要在多个方面进行工夫更新国产 巨乳，包括电子野心自动化用具、光罩数据准备、光学周边立异以及差别率增强工夫等。这些舛错制程的改进将确保俄罗斯的光刻机大概在实质坐蓐中达到预期的性能水平。